| 連続供給されるフィルムに塗布された電極層の膜厚をリアルタイムに分析します |
| トラバース機構搭載により、搬送方向だけでなく平面上の膜厚分布を得ることができます。エネルギー分散型蛍光X線分析の特長である同時分析を活かし、複数元素を短時間で測定します。 |
特長
- トラバース機構の搭載
- 二次元の膜厚マッピング分析が可能
- 高速計測システムを新開発
- 測定時間1秒に対応。優れた位置分解能を実現
- 複数元素を同時に分析が可能
仕様
| 本体寸法 (mm) | 800 (W) × 400 (D) × 750 (H) |
| 本体重量 | 約 70 kg |
| ライン速度 | 30 n/min |
| 試料サイズ | 180 mm × 3000 m (測定箇所3点を1秒毎に移動) |
| 所要電源 | AC100V, 5A, 50/60Hz, 500W以下, C種アース |